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羅茨真空泵原理羅茨真空泵特點
靠泵腔內一對葉形轉子同步、反向旋轉的推壓作用來移動氣體而實現抽氣的真空泵。它的結構和工作原理與羅茨鼓風機相似,工作時其吸氣口與被抽真空容器或真空系統主抽泵相接。這種真空泵的轉子與轉子之間、轉子與泵殼之間互不接觸,間隙一般為0.1~0.8毫米;不需要用油潤滑。轉子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。漸開線轉子泵的容積利用率高,加工精度易于保證,故轉子型線多用漸開線型。羅茨真空泵的轉速可高達3450~4100轉/分;抽氣速率為30~10000升/秒(1升=10米);極限真空:單級為6.5×10帕,雙級為1×10帕。羅茨真空泵的特點是:啟動快,耗功少,運轉維護費用低,對被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感,在100~1帕壓力范圍內有較大抽氣速率,能迅速排除突然放出的氣體。這個壓力范圍恰好處于油封式機械真空泵與擴散泵之間。因此,它常被串聯在擴散泵與油封式機械真空泵之間,用來提高中間壓力范圍的抽氣量。這時它又稱為機械增壓泵。羅茨真空泵廣泛用于真空冶金中的冶煉、脫氣、軋制,以及化工、食品、醫藥工業中的真空蒸餾、真空濃縮和真空干燥等方面。
工作原理
工作時其吸氣口與被抽真空容器或真空系統主抽泵相接。這種真空泵的轉子與轉子之間、轉子與泵殼之間互不接觸,間隙一般為0.1~0.8毫米;不需要用油潤滑。轉子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。漸開線轉子泵的容積利用率高,加工精度易于保證,故轉子型線多用漸開線型。羅茨真空泵的轉速可高達3450~4100轉/分;抽氣速率為30~10000升/秒(1升=10-3米3);極限真空:單級為6.5×10-2帕,雙級為1×10-3帕。
特點
啟動快,耗功少,運轉維護費用低,對被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感,在100~1帕壓力范圍內有較大抽氣速率,能迅速排除突然放出的氣體。這個壓力范圍恰好處于油封式機械真空泵與擴散泵之間。因此,它常被串聯在擴散泵與油封式機械真空泵之間,用來提高中間壓力范圍的抽氣量。這時它又稱為機械增壓泵。
用途
羅茨真空泵廣泛用于真空冶金中的冶煉、脫氣、軋制,以及化工、食品、醫藥工業中的真空蒸餾、真空濃縮和真空干燥等方面。‘
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